光学3D表面轮廓仪 SuperView W1产品说明书
| 品牌 | CHOTEST | 型号 | SuperView W1 |
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| 产地 | 中国 | 品名 | 光学3D表面轮廓仪 SuperView W1 |
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型号 |
W1 |
W1-Pro |
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光源 |
白光LED |
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影像系统 |
1024×1024 |
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干涉物镜 |
10×（2.5×，5×， 20×，50×，100×可选） |
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光学ZOOM |
0.5×（0.75×，1×可选） |
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标准视场 |
0.98×0.98㎜ |
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最大视场 |
6×6㎜ |
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物镜塔台 |
3孔手动（5孔电动可选） |
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XY位移平台 |
尺寸 |
320×200㎜ |
300×300mm |
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移动范围 |
140×100㎜ |
200×200mm |
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负载 |
10kg |
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控制方式 |
电动 |
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水平调整 |
±4.5°手动 |
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Z轴 聚焦 |
行程 |
100㎜ |
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控制方式 |
电动 |
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Z向扫描范围 |
10 ㎜ |
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Z向分辨率 |
0.1nm |
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可测样品反射率 |
0.05%~100% |
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粗糙度RMS重复性 |
0.005nm |
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台阶测量 |
准确度 |
0.7% |
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重复性 |
0.1% 1σ |
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仪器尺寸 |
900×700×604㎜ |
900×700×1500㎜ |
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仪器主机重量 |
＜150㎏ |
＜160㎏ |
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使用环境要求 |
无强磁场，无腐蚀气体 工作温度：15℃ ~30℃，温度梯度 < 1℃/15分钟 相对湿度：5%-95%RH，无凝露 环境振动：VC-C或更优 |
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注：粗糙度性能参数依据ISO 25178国际标准在实验室环境下测量Sa为0.2nm硅晶片Sq参数获得；
台阶高性能参数为依据ISO 5436-1:2000标准在实验室环境下测量4.7µm台阶高标准块获得。
注意：除【光学3D表面轮廓仪 SuperView W1】外，如有其他型号规格参数仅作对比参考。
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名称 |
货号 |
保修天数 |
说明 |
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光学3D表面轮廓仪 |
SuperView W1 |
一年 |
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